Produkto savybės
Kelių versijų (PLC/PC) ir įvairių pagrindinių komunikacijos protokolų palaikymas;
Projektavimas ir gamyba atlikta pagal SEMI saugos gamybos standartą;
Didelis kanalo projektavimo pajėgumas, UPH400 ~ 550 vnt;
Tinka kelių matmenų gaminiams ir žurnalams;
MFC plokštelės lygio patentuota konstrukcija, neleidžianti dujų nuotėkiui sukelti saugos nelaimingų atsitikimų (palaikoma didelės{0}}pavojaus dujos, pvz., vandenilis);
Patentuota aukšto sandarinimo kameros konstrukcija, iki 5pa;
Vandens kontakto kampas<10° (related to the material of product surface);
Keturių kanalų, skirtų vienu metu apdoroti 4 gaminius, su dvigubo dugno elektrodais dizainas, sumažinantis lentos įėjimo ir išėjimo laiką, žymiai pagerinantis efektyvumą ir užtikrinantis produkto vienodumą apdorojant.
techninės specifikacijos
|
Funkcinė konfigūracija |
Techniniai parametrai |
|
|
P × P × A (mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Įranga |
Grynasis svoris (kg) |
1000 |
|
Periferinis tarpas (mm) |
600 gale, 600 abiejose pusėse |
|
|
Kameros |
Tūris (L) |
Apie 9 |
|
Kanalas (nr.) |
4 |
|
|
Apatinis elektrodas (vnt.) |
2 (perėjimo funkcija) |
|
|
Maitinimo režimas |
Žurnalas |
|
|
Prisitaikantis gaminio matmenys (mm) |
Plotis:40-100 Ilgis:150-300 |
|
|
Elektrodas |
Elektrodo matmenys (mm) |
528×300 |
|
RF maitinimo šaltinis |
Standartinė galia (kW) |
1 |
|
Dažnis (MHZ) |
13.56 |
|
|
Dujų kontrolė |
Iki trijų kanalų |
2 kanalai (standartinis), 3 kanalai (pasirinktinai) |
|
Valdymo sistema |
Žmogaus{0}}mašinos sąsaja |
PC + jutiklinis ekranas |
|
Nuotolinė sąsaja |
Bendravimas |
Neprivaloma |
|
Vakuuminis siurblys |
Pasirenkamas sausas siurblys |
17CFM |
|
Pasirenkamas alyvos siurblys |
195CFM |
|
|
Pasirenkamas sausas siurblys su prapūtimo funkcija |
TAIP |
|
|
Azoto prapūtimo srautas (SLM) |
2 |
|
|
Siurbimo laikas (S) |
10月15日 |
|
|
Vakuuminio lūžio laikas (S) |
3-4 |
|
|
Gamyklos patalpos |
Maitinimas |
Trijų{0}}fazių 380V50/60Hz 4,5kW (alyvos siurblys) |
|
Proceso matmenys ir tipas |
1/4 colio Swagelok |
|
|
Procesinių dujų grynumas |
Pramoninė ir aukštesnė klasė |
|
|
Proceso dujų slėgis (psig) |
10-20 |
|
|
Prapūtimo dujotiekio matmenys ir tipas |
1/4 colio Swagelok |
|
|
Valymo dujų grynumas |
Pramoninė ir aukštesnė klasė |
|
|
Prapūtimo dujų slėgis (psig) |
15 |
|
|
Pneumatinės sistemos matmenys ir tipas |
10 mm stumdomas{1}}jungiklis |
|
|
Pneumatinių dujų grynumas |
Suslėgtas oras, be alyvos{0}}, rasos taškas Mažiau arba lygus 7 laipsniai, dalelės<5 |
|
|
Pneumatinių dujų slėgis (psig) |
70-90 |
|
|
Suslėgtas oras (mm) |
∅8 |
|
|
Atitiktis |
Sertifikavimas |
SEMI |
|
Pagalbinė įranga |
Azoto generatorius (pasirinktinai) |
Neprivaloma azoto valymui |
|
Vandens aušintuvas (pasirinktinai) |
Neprivaloma elektrodų aušinimui |
|
|
Vandenilio rinkinys (pasirinktinai) |
Neprivaloma apdoroti vandeniliu |
|
|
Išmetamųjų dujų procesorius (pasirinktinai) |
Neprivaloma fluoro išmetamųjų dujų apdorojimui |
|
|
Transportas |
Bendras svoris (kg) |
1050 |
|
Pakuočių skaičius |
1 |
|
|
Pakuotė atitinka SPM15 standartą |
TAIP |
|
Populiarus Žymos: VP-10S automatinė vakuuminio plazminio apdorojimo sistema, VP-10S automatinė vakuuminio plazminio apdorojimo sistema